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1、根據(jù)溫度和相對(duì)濕度波動(dòng)范圍，應(yīng)選擇相應(yīng)的具有足夠精度的儀表進(jìn)行測(cè)定。每次測(cè)定時(shí)間隔不應(yīng)大于３０min。
2、潔凈室內(nèi)測(cè)定布置：
3、送回風(fēng)口處；
4、恒溫工作區(qū)具有代表性的地點(diǎn)（如沿著工藝設(shè)備周?chē)贾没虻染嚯x布置）；
5、沒(méi)有恒溫要求的潔凈室中心；
6、測(cè)點(diǎn)一般應(yīng)布置在距外墻表面大于０.５m，離地面０.８m的同一高度上；也可以根據(jù)恒溫區(qū)的大小，分別布置在離地不同高度的幾個(gè)平面上。
6.1測(cè)點(diǎn)數(shù)應(yīng)符合表的規(guī)定。
表溫、溫度測(cè)點(diǎn)數(shù)
波動(dòng)范圍 | 室面積《50m2 | 每增加20~50m2 |
Δt=±0.5~±2℃ | 5個(gè) | 增加3~5個(gè) |
ΔRH=±5℅~±10℅ | ||
Δt≤±0.5℃ | 點(diǎn)間距不應(yīng)大于2m，點(diǎn)數(shù)不應(yīng)少于5個(gè) | |
ΔRH≤±5℅ | ||
6.2有恒溫恒濕要求的潔凈室。室溫波動(dòng)范圍按各測(cè)點(diǎn)的各次溫度中偏差控制點(diǎn)溫度的最大值，占測(cè)點(diǎn)總數(shù)的百分比整理成累積統(tǒng)計(jì)曲線(xiàn)。如９０％以上測(cè)點(diǎn)偏差值在室溫波動(dòng)范圍內(nèi)，為符合設(shè)計(jì)要求。反之，為不合格。
潔凈室區(qū)域溫度以各測(cè)點(diǎn)中最低的一次測(cè)試溫度為基準(zhǔn)，各測(cè)點(diǎn)平均溫度與超偏差值的點(diǎn)數(shù)，占測(cè)點(diǎn)總數(shù)的百分比整理成累計(jì)統(tǒng)計(jì)曲線(xiàn)，９０％以上測(cè)點(diǎn)所達(dá)到的偏差值為區(qū)域溫差，應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求。相對(duì)溫度波動(dòng)范圍可按室溫波動(dòng)范圍的規(guī)定執(zhí)行。
